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        上海硅酸鹽所牽頭1項國家重點研發計劃“重點基礎材料技術提升與產業化”重點專項項目順利通過綜合績效評價
        發布時間: 2022-07-05 08:25 | 【 【打印】【關閉】

          近日,中國科學院上海硅酸鹽研究所牽頭承擔的1項國家重點研發計劃“重點基礎材料技術提升與產業化”重點專項項目收到主管專業機構下達的綜合績效評價結論,順利通過。

          “高性能陶瓷部件高效精密制造關鍵技術”項目于2017年度立項,項目負責人為上海硅酸鹽所劉學建研究員,由上海硅酸鹽所牽頭,聯合北京中材人工晶體研究院有限公司、中國建筑材料科學研究總院有限公司、上海中科易成新材料技術有限公司、無錫英羅唯森科技有限公司、中材高新氮化物陶瓷有限公司、洛陽軸研科技股份有限公司、廣東工業大學、清華大學、上海微電子裝備(集團)股份有限公司和鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司總計11家單位共同承擔。2021年7月31日,上海硅酸鹽所組織完成了課題績效評價,2021年12月10日,科技部高技術研究發展中心組織完成了項目綜合績效評價,與會專家一致認為該項目完成了任務書規定的研究內容,達到了考核指標要求,實現了預期研究目標。

          該項目面向市場迫切需求的幾類典型高性能陶瓷材料部件的高效精密制造需求,重點開展高性能結構陶瓷的微結構與組成設計、精密成型、高溫燒結、精密加工、工程化制造與應用等研究,突破了大尺寸復雜結構陶瓷部件的高效精密成型、低應力微小變形高溫燒結、高效高精度加工、高純材料制備、工程化制造與應用、服役性能評價等關鍵技術;面向國家重大需求和經濟主戰場,研制出了光刻機用碳化硅陶瓷運動臺、高端裝備用氮化硅軸承球、化工用碳化硅熱交換管、半導體用高純碳化硅涂層和氧化鋁承載盤等系列典型產品,建成了碳化硅陶瓷熱交換管和氮化硅陶瓷生產線。

        “高性能陶瓷部件高效精密制造關鍵技術”項目

        代表性成果:國產光刻機用大尺寸SiC精密陶瓷部件和碳化硅熱交換管生產示范線

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